探針臺的使用方法-如何正確使用

正確地使用探針臺，可有效地提高操效率，減少誤操作造成樣品和探針耗材的損傷、損耗。本文以KeyFactor的IPS探針臺的使用方法為例，為您講解如何使用手動探針臺。主要包含了兩部分的教學內容：如何使用顯微鏡觀察和如何使用定位器將探針扎到待測點上。

1、如何正確地使用顯微鏡、用顯微鏡觀察待測樣品。

（1）打開顯微鏡光源，調節(jié)光源亮度。將待測樣品（或待觀察位置）移至顯微鏡光斑下。

（2）確認顯微鏡調焦架處于行程中間位置，即調焦架的導軌對齊（如下圖）。若有偏差，可以通過旋轉調焦架粗調旋鈕對齊。

（3）旋轉顯微鏡轉塔，將物鏡切換至最小放大倍數(shù)。若有必要，可使用氣動開關將顯微鏡抬升后再切換。

[注意]  須雙手托住轉塔側邊圈旋轉（下圖箭頭所示），嚴禁直接握住物鏡旋轉。

（4）旋轉調焦架粗調旋鈕，調節(jié)顯微鏡物鏡與樣品間的距離（向上或向下）。顯微鏡與樣品的對焦過程中，通過目鏡（配置了攝像頭可通過顯示器）可觀察到樣品成像由模糊逐漸轉為清晰。

[注意]  操作粗調旋鈕時應注意觀察樣品與物鏡之間的距離，防止樣品與待測樣品相撞損壞物鏡。所有物鏡為95mmMPlanAPO長工作距離物鏡，

若物鏡與樣品間的距離小于10mm，應停止并往反方向調節(jié)距離。

（5） 轉動顯微鏡轉塔，切換至換至目標放大倍數(shù)，調節(jié)調焦架高度，至樣品成像清晰即完成操作。

（6）高倍下操作，可使用調焦架細調旋鈕輔助調節(jié)顯微鏡高度，將樣品與顯微鏡對焦。

[注意]  若調焦架處在極限行程位置，嚴禁使用細調旋鈕，否則可能對調焦架造成嚴重損壞。此時應當使用粗調旋鈕并往反方向操作。

2、如何將探針連接至待測點

(1) 顯微鏡最小倍數(shù)物鏡下找到待測點（或附近的位置），使待測點成像清晰。

(2) 確認定位器XYZ三軸均中間行程位置（即各軸導軌端面螺絲對齊）。Z軸也可略向上錯開3mm左右。

(3) 安裝并調節(jié)好探針的高度，側向平視，觀察探針與樣品臺（或樣品）間的距離（大概5mm，或略小于5mm）。

   可通過調節(jié)探針臂或探針臂適配器的高度進行粗調定位。）

(4) 移動定位器，將所有探針移動至顯微鏡光斑下。此時通過目鏡觀察可看到探針的虛影（探針成像未實體化）。

(5) 操作定位器XYZ旋鈕，將探針定位至待測點上方。此時，可調節(jié)Z軸盡量將探針靠近待測點，但不要將探針扎到待測點上（探針未實體化）。

(6) 向上撥動顯微鏡氣動升降開關，將顯微鏡抬升至最高后，切換至目標放大倍數(shù)。向下?lián)軇娱_關，將顯微鏡復原至原來位置。

[注意]  顯微鏡緩慢下降的過程中，若觀察到物鏡與周圍的配件干涉，應當立即向上拔動開關，使顯微鏡抬升。排除干涉后再把顯微鏡復位。

(7) 操作XYZ定位旋鈕，將探針準確定位至待測點上方。慢慢調節(jié)Z軸，緩降下探針。探針兩側虛影與針尖重疊時，探針即接觸樣品待測點。為確保良好的接觸，可略微過壓探針，觀察到探針略向前移動即停止。

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